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三坐標測量儀是一種機、電、計算機集為一體的高精密、高速的多功能測量儀器。如果保養到位，不僅可以延長機器的使用壽命，更能使測量精度得到保障。三坐標測量儀價格昂貴，保養到位還能降低機器故障率從而節省一大筆維修費用。
1.日常維護
（1）三坐標測量儀對于存放和工作環境的要求非常嚴格，必須每天都對設備進行清潔，每周對生產或存放場地進行一次衛生大掃除，同時也要注意清潔時盡量避免揚起灰塵，所以室內清潔要使用吸塵器，附件柜和工作臺要使用脫脂棉進行清掃。
（2）三坐標測量儀使用的都是氣浮軸承，所以必須保證氣源的干凈，不能有油、水和顆粒狀雜質，如若不然就會導致氣浮軸承和導軌劃傷，如果氣浮軸承材質不行甚至會導致氣浮塊生銹，后果非常嚴重。所以每天都要對氣源放水放油，并要經常清洗過濾器和油水分離器，濾芯必要時更換。三坐標測量儀采用高精度自潔式空氣軸承，運動平穩，導軌用不受磨損
（3）三坐標測量儀的導軌加工非常精密，與氣浮軸承的間隙非常小，所以必須要保持大理石工作臺上的清潔，不然同樣會導致氣浮塊和導軌劃傷。在清潔大理石工作臺和導軌必須要使用綿綢蘸無水酒精進行清洗，一定不能隨便用其它布料和紙巾進行清洗，防止一些棉絮或其它雜質進入縫隙。
2.正確的操作
有了正確的日常維護就可以很好保養儀器的各種硬件設備，但這樣還是不夠的，必須要學會正確的操作方法這樣才能維護機器的軟件設備。
（1）三坐標測量儀對溫度和濕度的要求非常嚴格，所以開機前必須檢查溫度和濕度表，并且每過一段時間都要復查一遍，并做好記錄。
（2）檢查外設是否完好，控制系統連接是否正常
（3）檢查電源、氣源是否正常
（4）開機時應按照順序，先打開氣源，依次打開主電源、不間斷電源、打開計算機、啟動程序，啟動后檢查各功能鍵是否正常運作。
（5）各種零件在測量之前應該先去毛刺，測量時應把測量零件放在方便測量的位置，更換測頭、測桿時應按下保護鍵，測量中應該避免主軸和測頭與零件發生碰撞
（6）完成測量之后要做好清潔工作，卸下被測零件，測量儀退回原位，按順序關機，氣源和過濾器放水。
