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所在地區(qū)：深圳市南山區(qū)留仙大道南山智園崇文園區(qū)2號(hào)樓2001
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半導(dǎo)體設(shè)備物理氣相沉積（PVD）-磁控濺射儀、電子束、熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)、化學(xué)氣相沉積（CVD）-MOCVD、PECVD、LPCVD、超高真空系列-分子束外延系統(tǒng)（MBE）、激光分子束外延系統(tǒng)（LMBE）
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